半导体部门
技术资料
玻璃制造技术部门
通过式子(A-2),可以由下式求得陷阱浓度
另外,不考虑 λ 区域的近似浓度,从公式(A-5)可得
如上所述,通过DLTS方法,可以测量深能级参数(能级,俘获截面)和浓度。然而,为了用这种方法测得多个阿列纽斯曲线图的绘图点,通过升温、降温,在不同的rate window中重复测量是一件非常繁琐的事情。