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DLTS频谱

1974年,当Lang设计DLTS法时,还没有像现在这样先进的计算机技术。Lang等人设计的DLTS频谱测量的原理如图A-4所示。通过硬件方法(boxcar方法),测量 t1 和 t2两个时间点的电容值 C(t1) 以及 C(t2) ,并获得其差值 S(T)=△C(t1)- C(t2),而不是完整记录瞬态波形。

当温度从低温变为高温并连续进行这种测量时,如图A-4(a)所示,当被深能级俘获的载流子达到热激活开始的温度时,由于电容瞬态会显著出现,在此时的温度(Tmax)下可得到 S(T) 变为最大的频谱。(DLTS频谱)

通过Lang的方法测量DLTS频谱的原理

图A-4.通过Lang的方法测量DLTS频谱的原理
△C 在从低温到高温的测量过程中在特定温度(Tmax)处取最大值。

如等式(A-1)所示,虽然电容瞬态呈指数变化,但时间常数 τe 与上述的 t1 以及 t2之间存在以下关系。

因此,图A-4的DLTS频谱显示出,目标深能级电子的热发射时间常数为 τe 时的温度是其峰值点的温度(Tmax)。
并且,由公式(A-6)给出的释放时间常数的倒数(发射率)被称为rate window。

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