DLTS频谱
1974年，当Lang设计DLTS法时，还没有像现在这样先进的计算机技术。Lang等人设计的DLTS频谱测量的原理如图A-4所示。通过硬件方法（boxcar方法），测量 t1 和 t2两个时间点的电容值 C(t1) 以及 C(t2) ，并获得其差值 S(T)=△C(t1)- C(t2)，而不是完整记录瞬态波形。
当温度从低温变为高温并连续进行这种测量时，如图A-4（a）所示，当被深能级俘获的载流子达到热激活开始的温度时，由于电容瞬态会显著出现，在此时的温度（Tmax）下可得到 S(T) 变为最大的频谱。（DLTS频谱）
图A-4.通过Lang的方法测量DLTS频谱的原理
△C 在从低温到高温的测量过程中在特定温度（Tmax）处取最大值。
如等式（A-1）所示，虽然电容瞬态呈指数变化，但时间常数 τe 与上述的 t1 以及 t2之间存在以下关系。
因此，图A-4的DLTS频谱显示出，目标深能级电子的热发射时间常数为 τe 时的温度是其峰值点的温度（Tmax）。
并且，由公式（A-6）给出的释放时间常数的倒数（发射率）被称为rate window。