HERA-DLTS系统规格
硬件（偏压/脉冲电压源）
- 电压范围 : -/+ 24V (选件 +/- 100V)
- 电压设定分辨率 : 0.3 mV (1.5mV with 100V option)
- 最短脉冲 :1 µs
使用外部脉冲发生器（选件）时: 20 ns (+/- 10V)
- 最大脉冲宽度 : > 1000 s
可以使用TTL调制输入触发的光（激光）脉冲
- 通过计算机控制的信号放大器自动增益设置 : 1 – 1028
- 抗混叠过滤器：贝塞尔函数（8次）
- 数字瞬态记录仪
最大样本数/瞬时值 : 64000
最小采样间隔 : 2 µ s
最大采样间隔: 4 s
- 电容计： Boonton 7200
反向偏置电容自动补偿机制及自动量程切换机制
电容补偿范围 : 1 pF - 3300 pF
测量频率 : 1 MHz
测量信号电压 : 15mV, 30mV, 50mV, 100mV
电容量程 : 2 pF - 2000 pF (4)
也可进行电导测量
- 带自动量程设置的电流放大器
最大测量电流 : 15 mA
电流分辨率 : 10 pA
该电流放大器用于I/V测量和电流瞬态测量（I-DLTS）
电容DLTS/电流DLTS模式的自动切换
- 支持大多数商用低温恒温器
各种DLTS模式
- C-DLTS (电容DLTS；标准模式)
- CC-DLTS (恒定电容DLTS ；选件)
- I-DLTS (电流DLTS )
- Q-DLTS (电荷DLTS)
- FET DLTS (3端子DLTS ；第二电源为标准配备)
- DD-DLTS (Double Correlation DLTS)
- ICTS (Isothermal Capacitance Transient (C or I) Spectroscopy )
- PICS (Photo-induced transient (C or I) spectroscopy )
- Capture DLTS (俘获测量)
- Fourier-DLTS (傅里叶变换DLTS)
- Laplace-DLTS (拉普拉斯变换DLTS)
- MIS - Nss DLTS (界面能级测量/分析)
- MIS - Zerbst DLTS (Zerbst分析)
- C(V), I(V), C(t), I(t)
各种评价模式
（1）相关函数(Correlation function) DLTS
- 通过使用28种相关器，只用一次温度扫描就可以测量出在经典DLTS中相当于28次温度扫描的28个阿列纽斯点的数据。
- 通过一次温度扫描即可获得18个不同的参数组（偏置电压，脉冲电压/宽度/模式等）
（2）通过傅里叶变换进行评价分析
（3）通过拉普拉斯变换进行评估分析
- 用拉普拉斯逆变换从瞬态波形中分离并提取近似τ(对应C、CC、I、Q模式)
（4）HERA-DLTS
- 通过新的数学算法对DLTS和ICTS频谱进行解卷积（相邻能级的分离提取）
软件
（1）C/V, I/V, C(t) 测量
- 浅能级浓度评价
- 势垒高度的评价
- 理想型 (n-)因子评价（肖基特二极管）
- 绝缘膜电容评价（MIS电容器）
- Zerbst分析（MIS）
- 瞬态分析
- 傅里叶变换、拉普拉斯变换、多指数拟合（多个发射过程的分离提取）
- FET分析，参数化I / V曲线，三维图
（2）DLTS（“Tempscan”）
- 配备用于常规测量的参数组
- 用户可以定义和存储测量参数集
- 用户可以从存储的参数集开始测量
- 在一次温度扫描中可以使用八种不同的测量任务
- 自动/手动阿列纽斯图评估
- 通过傅立叶变换、拉普拉斯变换、多指数函数拟合进行的解卷积分析
- 在相关函数法DLTS分析(maximum analysis)中通过解卷积分离提取相邻能级
- 可在DLTS测量同时进行I/V和C/V测量
- 陷阱浓度分布的测量
- 可在DLTS测量同时进行C(T)测量
- 阿列纽斯图评估中的24种相关函数
- 通过一次温度扫描即可绘制阿列纽斯图
- 使用新型温度特性校正方法的陷阱浓度评估（使用在DLTS之前获得的CR(T)、CP(T)、C/V(T)数据）
（3）ICTS
- 陷阱浓度分布评估
- 俘获截面测量
- 3-D ICTS测量
可以在除Tw：period width参数以外的另外一个参数（温度，脉冲宽度等）自动变换的同时测量瞬态值
- 3-D ICTS测量中的阿列纽斯图评价分析（包括波形分离操作）
- 时间对数的瞬态测量
- 俘获截面的温度依赖性评估（fast pulse选项）
