Ceramicforum的宽禁带半导体与玻璃溶解技术

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SiC半绝缘型单晶圆片

SiC 半绝缘性衬底的特长

SiC半绝缘衬底作为高频器件(氮化镓HEMT)的基板,用途很广。移动电话基地局用发送增幅器、军工用雷达等多领域录用。今后期待汽车雷达、大容量数据发送等领域录用。

Ceramic forum于2011年开始经销Norstel公司的半绝缘性SiC衬底。 该司的半绝缘SiC衬底采用高温CVD生长法(HTCVD),相对比升华法生产的衬底有以下特征。

・低缺陷(低MPD、TSD)
・高电阻且衬底面内的高低效率平均性
・高纯度

半絶縁SiC基板

产品厂家介绍

スウェーデン Norstel社

Norstel公司(瑞典)

SiC研发领域持有很高的业绩,同时,该公司属于瑞典历史悠久的Linkoping大学的Spin out venture。目前属于欧洲最大的外延服务供应商。1993年开始,以瑞典历史悠久的Linkoping大学和ABB公司的SiC共同研究为基石,历经芬兰Si衬底厂家Okmetic公司的并购,于2005年独立。拥有SiC量产适用外延炉和研发适用片式外延炉及多种测试评价设备,已构建成可以对应大批量生产的体制。

 

应用案例

    1.移动电话基地局用发送增幅器(LTE用基地局、Wi-Max用基地局、5G用基地局等)

    2.军工用器件(雷达、导弹用方向指示等)

    3.高速数据通讯(宽带放送、卫星数据发送)

    4.石墨烯生长用基板

规格

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