半導体部門
技術資料ダウンロード
ガラス製造技術部門
SiC 結晶検査機の実機を用いてのデモ測定も行います。ぜひお立ち寄りください!6インチまでのSiC/GaN/AlN基板をお持ち頂ければ、その基板を用いてのデモ測定も即座に行えます。弊社CS-1は、結晶材料の結晶ストレスや欠陥の分布画像を高速で取得する検査装置です。可視光(波長:400~ 800nm)に透過性のある結晶材料である、SiC, GaN, AlN などを非破壊非接触で、ウエハ全面においても数秒で観察できる検査器になります。
小冊子にて、 CS-1像とX線トポ像との比較 を行なっております。