ガラス製造技術とワイドギャップ半導体のセラミックフォーラム

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Norstel社製 SiC バルクウエハ

Norstel社のSiCバルクウエハ

セラミックフォーラムは、2011年よりNorstel社のSiC バルクウエハの取扱いを開始しました。

昇華法で製造されているNorstel社のSiC バルクウエハは、低転位(極低TSD・低BPD)という特徴があり、デバイスの性能と歩留まり向上に大きく寄与します。

半絶縁SiC基板

SiC半導体の特長

SiC半導体は、電子移動度が高く耐熱性に優れているため、従来のSi半導体では使用できない高温動作環境などでの動作が可能になります。また、低損失であるため省エネルギーにもつながります。
この特性から、太陽光・風力発電システムをはじめとして、電車用インバーターでもSiC半導体が用いられるようになっており、過酷な環境下での高電圧の高速制御分野において利用が拡大しています。

多様な製造方法の研究が進んでいますが、SiCバルクウエハの高性能・低価格を実現することは難しいことは変わりません。セラミックフォーラムでは、デバイス量産用の厳しい品質検査をクリアしたSiCバルクウエハを提供しています。

応用例

  • SiCデバイス用ベース基板(ダイオード、MOSFETなどのトランジスタ)
  • GaNデバイス用ベース基板(HEMT などの高周波デバイス)
  • グラフェン製造用支持基板
  • 高い放射能耐性をいかした構造材

関連製品/サービス

製品メーカー案内

スウェーデン Norstel社

Norstel社(スウェーデン)

SiC 研究において高い実績と歴史を誇るスウェーデンのLinkoping(リンチョピン)大学からのスピンアウトベンチャー。欧州最大のエピサービス供給会社。1993年より開始された、Linkoping大学とABB社のSiC共同研究を礎として、フィンランドのSiウエハメーカーOkmetic社傘下を経て、2005年に独立。
量産用SiCエピ炉と研究開発用枚葉式エピ炉の他、数多くの評価装置を有し、大量生産に対応した体制を築き上げている。2019年にST-Micro社の傘下となっている。

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