ガラス製造技術とワイドギャップ半導体のセラミックフォーラム

セラミックフォーラムでは、DLTS （Deep Level Transient Spectroscopy）法による半導体材料／デバイス中の欠陥評価に関する受託測定・解析サービスを提供しています。
ここで、当社が採用するDLTS法について詳しく説明いたします。