ガラス製造技術とワイドギャップ半導体のセラミックフォーラム

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検査装置

弊社が取り扱っている半導体検査装置のご紹介です。

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DLTS測定装置

Windowsベースのソフトウェアで、多様な機能と測定モード、時定数の値の最小3倍までの重なり合う放出信号を分離する新たな測定・解析モード


Ramantouch_overview.png
レーザーラマン顕微鏡「ラマンタッチ」

セラミックフォーラムはナノフォトン社が開発・製造したレーザーラマン顕微鏡「ラマンタッチ」取り扱っております。世界最速、最高画質のラマンイメージングを実現しました。

CS1_overview.png
結晶歪み観察装置 CS-1

GaN、SiC、AlN基板などの欠陥や応力によって引き起こされる結晶歪の分布状態を非破壊非接触できる、自社開発された結晶歪み観察装置です。

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ホール効果測定システム

半導体材料の比抵抗とホール効果を測定するシステムになります。コンパクトな卓上システムでありながら、測定の柔軟性が非常に高く、低抵抗から高抵抗までの広範な半導体材料をカバーし、高額な大型システムと同等の測定ができるように設計されています。

TMX Scientific T°Imager
T°Imager熱顕微鏡システム

マイクロ電子デバイスの動作中の表面温度を、ディープサブミクロンレベルの高解像熱画像を生成して測定するCCD熱顕微鏡システム

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ウエハレベルで非破壊、熱材料特性の高速測定:TMX Scientific社製「Transometer」

薄膜の熱伝導率と薄膜間の界面熱抵抗を測定する初の商業用熱反射率ベースのシステムです。

当社サービスに関するこんなお悩み・ご相談お待ちしております!
  • SiCやGaN などのワイドギャップ半導体に関して質問がある
  • SiCやGaN ウエハに成膜するエピの仕様を決めたい
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