分析サービス（ホール効果測定サービス）
Hall効果測定とは
Hall効果測定は、半導体材料における基本特性である伝導型(p, n)、キャリア濃度、移動度を測定するものです。磁場中で、半導体材料に電流を流した場合、これらと直交する方向に電圧が発生します（Hall効果）。この電圧の極性と大きさから、上記の基本特性が求められます。
測定は、6～8mm角程度の半導体ウエハ片の四隅にオーミック電極を形成した試料を作製して行う Van der Pauw法が一般的です。（図１）
図１．Hall効果測定試料例
受託評価・解析サービス
セラミックフォーラム（株）では、Hall効果測定法による半導体
材料の特性評価に関する受託評価・解析サービスを開始しました。
既に好評を戴いておりますDLTS (Deep Level Transient Spectroscopy)
法による半導体材料/デバイス中の欠陥評価サービスと合わせて、皆様の研究・開発業務にご活用戴たいと存じます。
Hall効果測定事例
図２．キャリア濃度の温度依存性測定例および
その解析例（半絶縁性4H-SiC）
図３．キャリア移動度と濃度の関係
（半絶縁性4H-SiC）
図３．キャリア移動度と濃度の関係
（半絶縁性4H-SiC）