ガラス製造技術とワイドギャップ半導体のセラミックフォーラム

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SiCrystal社製 SiC バルクウエハ

SiCrystal社のSiCバルクウエハ

セラミックフォーラムは、2001年よりSiCrystal社のSiC バルクウエハの取扱いを開始しました。

昇華法で製造されるSiCrystal社のSiC バルクウエハは、他社に比べて高い量産実績を誇ります。
高信頼性によって、ローム社のSiCデバイスへの採用を筆頭に多くのメーカーでの採用実績があります。

量産規模用と研究開発用のグレードがあるので、使用目的や要求される仕様により選ぶことができます。

半絶縁SiC基板

SiC半導体の特長

SiC半導体は、電子移動度が高く耐熱性に優れているため、従来のSi半導体では使用できない高温動作環境などでの動作が可能になります。また、低損失であるため省エネルギーにもつながります。
この特性から、太陽光・風力発電システムをはじめとして、電車用インバーターでもSiC半導体が用いられるようになっており、過酷な環境下での高電圧の高速制御分野において利用が拡大しています。

多様な製造方法の研究が進んでいますが、SiCバルクウエハの高性能・低価格を実現することは難しいことは変わりません。セラミックフォーラムでは、デバイス量産用の厳しい品質検査をクリアしたSiCバルクウエハを提供しています。

応用例

  • SiCデバイス用ベース基板(ダイオード、MOSFETなどのトランジスタ)
  • GaNデバイス用ベース基板(HEMT などの高周波デバイス)
  • グラフェン製造用支持基板
  • 高い放射能耐性をいかした構造材

関連製品/サービス

製品メーカー案内

ドイツ SiCrystal社

SiCrystal社(ドイツ、Nurenberg市)

欧州最大のSiC単結晶ウエハメーカー。ドイツが1994年にスタートさせたSiC単結晶成長技術開発プロジェクトを礎として、1997年に設立され、2001年よりSiCウエハの量産・供給を開始している。2000年にはSiemensグループのFreitoronicsとの合併を経て、2009年よりローム社のグループに加わる。

 
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