AFTechのMOVCDエピ装置部品洗浄サービス
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AFTechのMOVCDエピ装置部品洗浄サービスの取り扱い開始
AFTechのサービスは、洗浄工程を簡素化し、グラファイトサセプター部品の寿命を延ばすことができます。III-V族化合物やドーパントの除去に対応した洗浄プロセスは、MOCVDチャンバー内の不純物を最小限に抑え、リアクターの効率を向上させます。
AFTechでは、Veeco社およびAixtron社のリアクター部品を定期的に洗浄を受注しているほか、他社メーカーのサセプターやカスタム炉用の特注チャンバー部品も洗浄実績があります。
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